付帯設備修理
半導体製造装置の付帯設備サービス
長年の経験と、高度な技術力を持つ、国内外の修理ソースが御座います。お客様のご要望(価格、品質、納期)に沿った修理サービスを紹介いたします。
緊急対応、性能改善への提案もさせて頂きます。
老朽モデルにおいても、バックアップ機として、整備済み製品の販売紹介も行っております。
Pump
Valve
Generator
Robot
ESC再生
多様なメーカーのESC再生を行っております。