Products

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Used付帯設備

半導体エッチング装置、CVD装置に付帯する、中古ポンプ(ドライポンプ、クライオ、ターボ)を提供致します。国内外より製品を入手してお客様の要望に合わせ、ASIS、または、保障を含めたO/H済み製品を提供致します。
パーツの販売も行っておりますので、お気軽に御相談ください。

□ ドライポンプ
□ クライオポンプ
□ ターボポンプ
□ チラー
□ バルブ
□ 電源

ドライポンプ

□ ドライポンプ

汎用的に使用されております、荏原、樫山、Edwards製品を数多く取り扱っております。荏原AAシリーズ、樫山KMB、SDシリーズ、Edwards QMB、QDPシリーズを筆頭に、幅広い製品を取り扱っておりますので、修理を含め、お気軽に御相談ください。
ドライポンプ ドライポンプ
クライオポンプ

□ クライオポンプ

ULVAC、CTI、アネルバ等、製品を取り扱っております。また、修理を含め、クライオコンプレッサー用のアドゾーバー再生も行っておりますので、お気軽に御相談ください。
クライオポンプ クライオポンプ
ターボポンプターボポンプターボポンプ

□ ターボポンプ

中古ターボポンプ製品を紹介しております。お探しの製品が御座いましたら、お気軽にご連絡下さい。
ターボポンプ ターボポンプ
チラー

□ チラー

中古チラー、修理の対応も行っております。
お探しの製品、修理につきまして、お気軽に御相談ください。
チラー チラー
チラー

□ バルブ

VAT、APCバルブの修理を行っております。
Cuライン、Alライン向けと、分解、洗浄、組立といった
標準O/Hから、アクチュエーター修理、電磁弁、
モータードライバーのパーツ交換も行います。
チラー チラー
チラー

□ 電源

AE、DAIHEN、MKS社製のRF電源、DC電源、マッチャー製品の修理を行っております。製品内部パーツの改良、電源設備に留まらず、関連設備のシステム化も設計、最適な電源供給の紹介も行っております。中古電源製品の取り扱いもございます。
  チラー