Products

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消耗パーツ

エーサットが世界から厳選した消耗パーツは、
機能性を満たしながら、コスト削減を可能にするリーズナブル、ハイ・パフォーマンスなパーツのみをお届けいたします。これまでも数多くの納入先で品質において信頼を頂いております。

□ 石英製品
□ シリコン製品
□ チャンバー廻り製品
□ その他石英製品

□ ESC再生
□ SiC製品
□ ベローズ製品
□ Dummy/Reclaim silicon Wafer, Siスクラップ

□ 石英製品

エッチング装置のチャンバー廻りに使用される、Shield Ring, Cover Ring, Insulator等の石英加工製品を取り扱っております。国内外の幅広いデバイスメーカー様で、御使用いただいております。

□ シリコン製品

主に、エッチング装置向け、CEL、Focus Ring、拡散装置向けの石英ボート、Outerチューブを取扱っております。国内外の幅広いデバイスメーカー様で御使用を頂いております。又、シリコン材の提供も行っております。

□ チャンバー廻り製品

CVD装置向けチャンバーモジュール、シャワーヘッド、プレート関連等、セラミック、アルミナ製品、材料を問わず、8、12インチ向けで取扱いをしております。

 

□ その他石英製品

石英管、石英ムク棒の取扱いも行っております。研削、加工の一連の対応ができますので、製品企画をご検討の際など、お気軽にお問い合わせください。

□ ESC再生

6~12インチライン、多種エッチング装置向けのESC製品を再生致します。コストメリットの提案が出来ますので、お気軽にご相談下さい。

 

□ SiC製品

常圧CVD装置に使用されるサセプタを、取り扱っております。その他SiC加工製品の対応も可能ですので、ご要望の製品等御座いましたら、お気軽にご連絡ください。

 

□Dummy/Reclaim silicon Wafer, Siスクラップ

ソーラー向けに、Si端材、Brokenウェハー、インゴット等を取り扱っております。また半導体向けの製品も対応が取れますので、お気軽にお問い合わせください。

□ ベローズ製品

真空関連で使用されるベローズ製品の取り扱いも御座います。