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消耗パーツ

我们提供的部件种类广泛齐全,性价比显著并不断提升。现在被许多用户广泛的使用着,在日本国内,也在世界的各个地方。

□ 石英制品
□ 硅(Si)制品
□ Chamber 所需的产品
□ 其它石英产品

□ ESC再生
□ 碳化硅(Sic)制品
□ Bellows制品
□ Dummy/Reclaim silicon Wafer制品

□ 石英制品

我们主要提供Etching Chamber所需的如:Shield Ring, Cover Ring, Insulator.这些产品已经在我们日本国内外客户中广泛应用。

□  Chamber 所需的产品

提供CVD所需的Chamber Module, Shower head, Plate等,尺寸为8、12英寸。

 

□ ESC再生

提供ESC再生服务,适合于6-12寸的各种ETCHING TOOL,能有效地降低您的生产成本。 请与我们联系以了解详细的产品资料。

 

□  Bellows制品

提供各种类真空品及波纹管产品。请与我们联系以了解详细的产品资料。

□  硅(Si)制品

我们主要提供Etching Chamber所需的如:CEL、FocusRing.这些产品已经在我们日本国内外客户中广泛应用。

 
 

□ 其它石英产品

提供石英管,石英棒等制品。我们拥有稳定且长期合作的制造厂,能

严格把握石英生产及加工的各工艺流程。所有石英品能按照你所需的规格,尺

寸生产,并能提供研磨、抛光等各类加工。

 
 

□  碳化硅(SiC)制品

提供APCVD用的SIC SUCEPTOR,以及原制造商产品 。请

与我们联系以了解详细的产品资料。

 
 

□  Dummy/Reclaim silicon Wafer制品

提供Dummy/Reclaim silicon Wafer(6~12inch)。面向Solar行业、提供IC级硅料/破片/ingot等。

我们将为您介绍半导体、Solar行业用,符合您需求的制品。我们将为您介绍半导体、Solar行业用、符合您需求的制品。